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发布时间：2024-12-04

论文类型：期刊论文

论文编号：363343

发表时间：2023-04-05

发表刊物：ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES

卷号：15

期号：13

页面范围：17396-17405

ISSN号：1944-8244

关键字：CRYSTALS; CVD GROWTH; DEPOSITION; LAYER; MOO3; PARAMETERS; TRANSISTORS; TRANSITION