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专利名称：一种基于超临界流体脉冲的半导体薄膜可控生长系统

第一作者：徐琴琴

发明设计人：柳宝林,银建中,王启博,王志刚

所属单位：化工学院

申请日期：2020-09-11

申请号：202010950475.2

授权日期：2021-09-24

授权号：ZL 202010950475.2

发布时间：2026-03-13