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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2017-07-01
Page Number:1
Key Words:等离子体;双频容性耦合等离子体源;介质阻挡放电
Abstract:大气压空气中介质阻挡放电是产生等离子体的主要手段。随着工业发展的需求,对等离子体的电子密度,离子密度,离子能量的调整有了更进一步的要求,而单电源驱动的介质阻挡放电的可控参数较少,所以双频容性耦合等离子体源是近年来研究较多的一种新的等离子体源。本文对工频和高频电源串联驱动的介质阻挡放电的放电特性进行研究,通过测量放电的电特性,拍摄放电图像以及光谱分析,明确电压幅值,不同电压占比,高频电源频率,反应器结构参数对放电特性的影响。
