大连理工大学主页平台管理系统张莹莹--中文主页-- PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究

PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究: 点击次数：; 负责人姓名：宋远红; 项目参与人员：张莹莹,张钰如,王友年; 项目来源：企事业单位委托科技项目; 项目状态：结题; 项目来源单位：苏州迈为科技股份有限公司; 项目性质：横向; 立项时间：2021-03-17; 计划完成时间：2022-03-21; 开始日期：2021-03-22; 结项日期：2023-07-14