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专利
一种提高工艺等离子体均匀性的电极
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发布时间： 2021-09-09
专利名称：一种提高工艺等离子体均匀性的电极
第一作者：刘永新
发明设计人：赵凯,张莹莹,王友年
申请号：CN201810472714.0
授权日期：2018-05-17
授权号：CN108682611A
发布时间：2021-09-09

张莹莹

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高级工程师

性别： 女

毕业院校：大连理工大学

学位： 博士

所在单位：物理学院

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