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专利
一种提高工艺等离子体均匀性的电极
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第一作者：刘永新
发明设计人：赵凯,张莹莹,王友年
申请号：CN201810472714.0
授权日期：2018-05-17
授权号：CN108682611A

张莹莹

个人学术主页

高级工程师

性别： 女

毕业院校：大连理工大学

学位： 博士

所在单位：物理学院

电子邮箱：yyzhang1231@dlut.edu.cn

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