软脆红外薄膜纳米精度化学机械抛光理论及关键技术
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负责人姓名:周红秀
项目来源:国家自然科学基金项目
项目子类:青年科学基金项目
项目状态:结题
项目来源单位:国家自然科学基金委员会
项目性质:纵向
项目批准号:51005037
立项时间:2010-09-25
计划完成时间:2013-12-31
开始日期:2011-01-01
结项日期:2013-12-31
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负责人姓名:周红秀
项目来源:国家自然科学基金项目
项目子类:青年科学基金项目
项目状态:结题
项目来源单位:国家自然科学基金委员会
项目性质:纵向
项目批准号:51005037
立项时间:2010-09-25
计划完成时间:2013-12-31
开始日期:2011-01-01
结项日期:2013-12-31