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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院上海硅酸盐研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理
办公地点：大连理工大学科技园C座301-1办公室
联系方式：
电子邮箱：
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一种β－碳化硅薄膜的制备方法
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发明设计人：边继明,张志坤,毕凯峰,刘艳红,刘维峰,秦福文
所属单位：物理与光电工程学院
授权日期：2016-01-20