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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程. 机械制造及其自动化. 精密仪器及机械
办公地点：大连理工大学西部校区机械学院大方楼6029
联系方式：大连理工大学机械工程学院
电子邮箱：jsliang@dlut.edu.cn
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聚酰亚胺薄膜旋涂工艺及其抗电击穿性能
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论文类型：期刊论文
发表时间：2019-04-03
发表刊物：传感器与微系统
卷号：38
期号：4
页面范围：4-7
ISSN号：1000-9787
关键字：聚酰亚胺;薄膜;旋涂;电击穿
摘要：采用旋涂法制备了高质量的聚酰亚胺薄膜,研究了薄膜厚度与旋涂转速之间的关系;对不同厚度的旋涂薄膜进行了电击穿实验,探讨了膜厚对击穿性能的影响.结果表明:聚酰亚胺薄膜的厚度与旋转速度平方根的倒数(ω-1/2)呈线性正相关,通过控制转速可获得不同膜厚;薄膜越厚,击穿电压越高,但其平均击穿强度越低.在280℃的亚胺化条件下,旋涂薄膜的最高击穿电压为2370 V,最大击穿场强为286.33 kV/mm,可满足大多数微系统对绝缘性能的要求.