|
个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程. 机械制造及其自动化. 精密仪器及机械
办公地点：大连理工大学西部校区机械学院大方楼6029
联系方式：大连理工大学机械工程学院
电子邮箱：jsliang@dlut.edu.cn
扫描关注
各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响
点击次数：
发表时间：2022-10-10
发表刊物：机电工程技术
卷号：48
期号：9
页面范围：35-37
ISSN号：1009-9492
备注：新增回溯数据