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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程. 机械制造及其自动化. 精密仪器及机械
办公地点：大连理工大学西部校区机械学院大方楼6029
联系方式：大连理工大学机械工程学院
电子邮箱：jsliang@dlut.edu.cn
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PZT厚膜的电射流沉积研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2016-02-20
发表刊物：传感器与微系统
收录刊物：CSCD
卷号：35
期号：2
页面范围：19-22
ISSN号：1000-9787
关键字：锆钛酸铅;厚膜;电射流沉积
摘要：制备了锆钛酸铅( PZT)悬浮液,采用电射流沉积( EJD)技术,在硅衬底上沉积了PZT厚膜.研究了电射流沉积高度、流量及悬浮液混合条件对厚膜致密性的影响.结果表明:降低电射流沉积高度和流量有助于提高沉积PZT厚膜致密性;采用球磨方法充分混合PZT悬浮液,沉积的PZT厚膜致密性明显提高.采用优化的电射流沉积参数和球磨20 h的PZT悬浮液,制备了10μm无裂纹PZT厚膜,其压电常数d33为67 pC·N-1 ,相对介电常数εr 为255.