大连理工大学  登录  English 
李晓杰
点赞:

研究员   博士生导师   硕士生导师

任职 : 爆炸技术研究所所长

性别: 男

毕业院校: 中国科学技术大学

学位: 博士

所在单位: 力学与航空航天学院

学科: 工程力学

办公地点: 力学楼224室

联系方式: 041184706163 科研之友主页: https://www.scholarmate.com/P/JzE7ru

电子邮箱: robinli@dlut.edu.cn

手机版

访问量:

开通时间: ..

最后更新时间: ..

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果
制备ITO靶材的探索

点击次数:

论文类型: 期刊论文

发表时间: 2005-11-25

发表刊物: 真空

收录刊物: PKU、ISTIC

卷号: 42

期号: 6

页面范围: 27-32

ISSN号: 1002-0322

关键字: ITO;爆炸压实;纳米粉末;理论探索;膨胀系数

摘要: ITO的用途越来越广泛.研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义.本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径.借助粉末的压实理论,对粉末的爆炸压实进行了理论探索.并通过初步实验证实了爆炸法的可行性.

辽ICP备05001357号 地址:中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编:116024
版权所有:大连理工大学