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论文类型： 期刊论文

发表时间： 2021-07-22

发表刊物： 材料科学与工艺

卷号： 14

期号： 2

页面范围： 155-158

ISSN号： 1005-0299

关键字： 爆炸压实;纳米ITO;烧结工艺

摘要： 为了探索生产ITO陶瓷靶材的新工艺方法,降低生产靶材的成本,提高靶材的性能,设计了纳米ITO陶瓷粉末经爆炸压实并附加烧结的工艺路线,提出了快速烧结,快速冷却的烧结工艺,对所得样品进行密度检测,并利用SEM对样品微观组织、形貌进行了分析.研究表明:使用高爆速炸药RDX和选择高温快速烧结方案能够获得密度高达98.71%理论密度,微观组织比较良好的陶瓷块体;纳米ITO粉末经爆炸压实后能够在高温突变条件下进行烧结处理;在快速冷却过程中,没有发现宏观裂纹的产生.