Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2004-02-20

Journal: 材料科学与工程学报

Included Journals: CSCD、ISTIC

Volume: 22

Issue: 1

Page Number: 12-14

ISSN: 1673-2812

Key Words: ITO 陶瓷靶材 爆炸压实烧结 致密化

Abstract: 对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀.本文探索了纳米ITO粉末冲击压实烧结的微观机理,并与以往人们对粉末的冲击沉能结论进行了比较,得出结论:压实烧结的主要机理是破碎填充效应,使得一部分粉末颗粒表面原子间的距离达到了点阵量级,从而产生键合力;一部分表面原子间的距离达到了一定小的程度,Vander Waals力使其结合.