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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2005-11-25
Journal:真空
Included Journals:PKU、ISTIC
Volume:42
Issue:6
Page Number:27-32
ISSN No.:1002-0322
Key Words:ITO;爆炸压实;纳米粉末;理论探索;膨胀系数
Abstract:ITO的用途越来越广泛.研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义.本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径.借助粉末的压实理论,对粉末的爆炸压实进行了理论探索.并通过初步实验证实了爆炸法的可行性.
