Release Time:2020-04-09  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2005-11-25

Journal: 真空

Included Journals: ISTIC、PKU

Volume: 42

Issue: 6

Page Number: 27-32

ISSN: 1002-0322

Key Words: ITO;爆炸压实;纳米粉末;理论探索;膨胀系数

Abstract: ITO的用途越来越广泛.研究并且制备ITO靶材具有相当的战略意义.本文概述了ITO玻璃的用途和ITO膜的镀制方法,对目前国内ITO靶材加工和研究的现状进行了调查,提出了用爆炸方法压实ITO纳米粉末并附加烧结的工艺生产靶材的途径.借助粉末的压实理论,对粉末的爆炸压实进行了理论探索.并通过初步实验证实了爆炸法的可行性.