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Study of the porosity of porous silicon and the distribution of residual stress along cross-section
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发布时间：2023-04-27
发表时间：2022-10-08
发表刊物：Yadian Yu Shengguang/Piezoelectrics and Acoustooptics
卷号：28
期号：4
页面范围：443-445
ISSN号：1004-2474
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