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个人信息Personal Information
教授
硕士生导师
性别：女
毕业院校：哈尔滨工程大学
学位：硕士
所在单位：机械工程学院
学科：机械设计及理论
办公地点：机械工程学院知方楼9037
联系方式：0411-84708427-84
电子邮箱：hxsong@dlut.edu.cn
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用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
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论文类型：期刊论文
发表时间：2003-09-20
发表刊物：传感器技术
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：22
期号：9
页面范围：8-11,15
ISSN号：1000-9787
关键字：扫描探针显微术;微观几何形状;传感器
摘要：随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要.对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术--扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍.