点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2009-08-05

发表刊物：系统仿真学报

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：21

期号：15

页面范围：4561-4567,4587

ISSN号：1004-731X

关键字：微机电系统;解析宏模型;数值宏模型;非线性宏模型

摘要：典型微机电系统由受多能量域约束的功能器件与集成电路信号处理元件构成,具有多物理场耦合的特点.利用宏模型进行快速的系统级仿真分析是求解耦合MEMS静、动态行为的有效方法.对目前建立MEMS器件宏模型的方法做了系统总结,重点介绍了基于伽辽金思想的基函数叠加和基于有限元方程的矩阵子空间投影等数值宏建模方法,比较了各种方法的优缺点并给出了不同方法的适用条件和选择原则,讨论了目前系统级仿真面临的主要难点并提出了未来宏建模方法的发展方向.