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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-01-15

发表刊物：仪器仪表学报

收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：30

期号：1

页面范围：29-34

ISSN号：0254-3087

关键字：MEMS;动态测试;高载;虚拟仪器

摘要：利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制.设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应用高速导电滑环传输数据.测试中的高频响应信号按DMA方式采集,此过程占用系统DMA资源,与监测相互冲突.提出上位机通过TCP/IP协议控制下位机进行高速采集的方法,解决了冲突问题.本文对系统的总体设计、软件技术、系统功能等方面做出详细阐述.