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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：哈尔滨工业大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 精密仪器及机械
电子邮箱：
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一种基于多层掩蔽层制作微结构的体硅加工方法
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第一作者：罗怡
发明设计人：郑英松,张彦国,王晓东,张宗波
申请号：CN200910304439.2
授权日期：2009-07-16
授权号：CN101613077