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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：Head, Photonics Research Center,
其他任职：辽宁省先进光电子技术重点实验室 主任
性别：男
毕业院校：比利时根特大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：光学工程. 测试计量技术及仪器. 通信与信息系统
办公地点：光仪学院厚望楼405
联系方式：Tel：0411 84706491
电子邮箱：mszhao@dlut.edu.cn
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温度不敏感聚合物波导微环光学生化传感器研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2015-01-01
发表刊物：光学学报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：35
期号：11
页面范围：1113004
ISSN号：0253-2239
关键字：集成光学; 聚合物波导; 微环; 光学生化传感器; 温度敏感性
摘要：温度敏感性是影响波导微环光学生化传感器性能的重要因素。从微环谐振方程出发分析了微环传感器温度敏感性产生的机理,研究了以SU8-NOA61-SU8
三明治结构聚合物衬底代替传统硅衬底,利用衬底的热膨胀效应抵消波导的热光效应,来消除聚合物波导微环光学生化传感器的温度敏感性。采用ANSYS软件对
三明治衬底的厚度进行了仿真设计,得到了温度不敏感条件下的衬底厚度参数。对SU8和NOA61旋涂成膜工艺进行了实验研究,得到SU8和NOA61的膜
厚控制精度分别为0.07 mum@20 r/min和0.34 mum@20
r/min。分析得到三明治聚合物衬底波导微环传感器的温度敏感性和探测极限值,达到了带有温控装置的硅衬底聚合物波导微环传感器的性能。