教授 博士生导师 硕士生导师
性别： 男
毕业院校： 中科院半导体所
学位： 博士
所在单位： 物理学院
电子邮箱： aiminl@dlut.edu.cn
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论文类型： 会议论文
发表时间： 2006-07-24
卷号： Vol.37
页面范围： 324-325
关键字： 多孔InP;电化学刻蚀;耗尽层;场强化效应;扫描电子显微镜
摘要： 利用扫描电子显微镜(SEM)对电化学刻蚀多孔InP的形貌进行了表征,用耗尽层模型和场强化效应模型讨论了多孔InP刻蚀的机制.
