升级冶金级Si衬底上ECR-PECVD沉积多晶Si薄膜

Release Time:2023-03-30  Hits:

Date of Publication: 2022-10-09

Journal: 半导体技术

Institution: 材料科学与工程学院

Issue: 2

Page Number: 117-120

ISSN: 1003-353X

Note: 新增回溯数据

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