大连理工大学主页平台管理系统吴爱民 Investigation of mechanical and structural properties of AIN thin films prepared by mid-frequency pulsed magnetron sputtering 吴爱民

吴爱民

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副教授博士生导师硕士生导师

其他任职：辽宁省能源材料及器件重点实验室副主任

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：材料科学与工程学院

学科：材料物理与化学
材料表面工程

办公地点：新三束4#楼311室

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Investigation of mechanical and structural properties of AIN thin films prepared by mid-frequency pulsed magnetron sputtering

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发布时间：2023-04-10

发表时间：2022-10-03

发表刊物：6th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing

所属单位：物理学院

卷号：561-565

期号：PART 2

页面范围：1185-1188

ISSN号：0255-5476