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个人信息Personal Information
副研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院大学
学位：博士
所在单位：化工学院
办公地点：精细化工国家重点实验室 E-226室，大连理工大学西部校区
大连市甘井子区凌工路2号
电子邮箱：pzchen@dlut.edu.cn
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基于芯片用的化学增幅型正性光刻胶的制备与产业化关键技术创新
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负责人姓名：陈鹏忠
项目来源：省、市、自治区科技项目
项目子类：省部级
项目状态：在研
项目来源单位：山东省科技厅
项目性质：纵向
项目批准号：VSP2021010
立项时间：2021-05-01
计划完成时间：2024-05-01
开始日期：2021-05-01