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个人信息Personal Information
副研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中国科学院大学
学位：博士
所在单位：化工学院
办公地点：精细化工国家重点实验室 E-226室，大连理工大学西部校区
大连市甘井子区凌工路2号
电子邮箱：
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Polarity-engineered Sn-Ti cluster photoresists for sub-10-nm high-resolution lithography.
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论文类型：期刊论文
论文编号：606830
发表时间：2026-05-18
发表刊物：Smart molecules : open access
页面范围：e70061
ISSN号：2751-4587
关键字：lithography; molecular polarity; RLS trade-off; sensitivity enhancement; Sn-Ti cluster photoresist