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Indexed by:会议论文
Date of Publication:1999-09-01
Page Number:213-216
Key Words:透明陶瓷膜;磁控溅射离子镀;等离子体型反应离子镀;金表
Abstract:采用等离子体型反应离子镀膜技术在经离子掺金试验件镀制SiO<,2>、SiO<,2>——TiO<,2>透明陶瓷膜,并对该膜进行电子探针成分定量分析,薄膜X光衍射分析、透明陶瓷保护膜硬度测试、磨损实验.
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