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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2000-05-30
Journal:电镀与环保
Included Journals:CSCD
Volume:20
Issue:3
Page Number:28-29
ISSN No.:1000-4742
Key Words:透明陶瓷膜;等离子体多弧-磁控溅射离子镀;等离子体型反应离子镀
Abstract:采用等离子体型反应离子镀膜技术在经离子掺金的试件上镀制SiO2、SiO2-TiO2透明陶瓷膜,并对该膜进行电子探针成分定量分析、薄膜X射线衍射分析、透明陶瓷保护膜硬度测试和磨损实验.
