Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2014-10-15

Journal: 强激光与粒子束

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 26

Issue: 10

Page Number: 104002-1-104002-4

ISSN: 1001-4322

Key Words: 第一镜;金属玻璃;薄膜表面;光谱反射率

Abstract: 为解决大口径非晶金属第一镜实现难题，在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上，采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材，通过非平衡磁控溅射镀膜方法，实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材的设计，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜；通过Cr成分改进，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。