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透明陶瓷保护膜
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  • 论文类型:期刊论文
  • 发表时间:2000-05-30
  • 发表刊物:电镀与环保
  • 收录刊物:CSCD
  • 文献类型:J
  • 卷号:20
  • 期号:3
  • 页面范围:28-29
  • ISSN号:1000-4742
  • 关键字:透明陶瓷膜;等离子体多弧-磁控溅射离子镀;等离子体型反应离子镀
  • 摘要:采用等离子体型反应离子镀膜技术在经离子掺金的试件上镀制SiO2、SiO2-TiO2透明陶瓷膜,并对该膜进行电子探针成分定量分析、薄膜X射线衍射分析、透明陶瓷保护膜硬度测试和磨损实验.

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