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论文类型：期刊论文

发表时间：2014-10-15

发表刊物：强激光与粒子束

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：26

期号：10

页面范围：104002-1-104002-4

ISSN号：1001-4322

关键字：第一镜;金属玻璃;薄膜表面;光谱反射率

摘要：为解决大口径非晶金属第一镜实现难题，在研究块体金属玻璃Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8材料基础上，采用金属玻璃块体材料制作拼接成溅射靶材，通过非平衡磁控溅射镀膜方法，实现了 Co61.2 B26.2 Si7.8 Ta4.8非晶金属薄膜第一镜。研究结果表明：通过成分设计及合成靶材的设计，能够实现与块体金属玻璃具有相同光学特性的非晶薄膜第一镜；通过Cr成分改进，能够进一步提高非晶金属薄膜第一镜在可见光波段的光谱反射率。