摘要：采用射频磁控溅射技术，以MoS₂为溅射靶材，在不同溅射功率下制备了系列MoS₂薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和X射线光电子能谱(XPS)等测试手段对薄膜进行表征，探讨循环过程中薄膜结构与形貌变化及其对电池循环性能的影响。结果表明，所制备的薄膜为富S的MoS₂非晶态薄膜；SEM分析表明薄膜中S与Mo元素分布均匀，不存在偏聚现象；XPS分析表明所制备的薄膜中存在单质S相，单质S相在整体薄膜中含量大体占14%(原子分数)左右。在初始充放电循环过程中，这些均匀分布的单质S和Li⁺反应生成多硫化锂,产生不可逆损耗，从而原位形成分布均匀的多孔结构，可有效缓解薄膜后续循环过程中的体膨胀，同时增加活性材料比表面积，有利于改善薄膜比容量及循环稳定性。当靶功率为100 W时，薄膜电极循环20圈，放电比容量为429.8 mAh/g，经300圈循环，放电比容量仍可保持在420.4 mAh/g，表现出优异的循环稳定性。

DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.08.016