宫振峰
个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:光电工程与仪器科学学院
电子邮箱:gongzf@dlut.edu.cn
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Ultrahigh Sensitivity Fiber-Optic Fabry-Perot Interferometric Acoustic Sensor Based on Silicon Cantilever
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发表时间:2022-10-03
发表刊物:IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT
卷号:70
ISSN号:0018-9456
关键字:"Cantilever; Fabry-Perot (F-P) interference; fiber-optic acoustic sensor (FOAS); microelectro-mechanical system (MEMS); silicon-on-insulator (SOI) wafer"