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个人信息Personal Information
高级工程师
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：东京大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
电子邮箱：guojiang@dlut.edu.cn
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Study on chemical effects of H2O2 and glycine in the Copper CMP process using ReaxFF MD
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发表时间：2022-10-09
发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE
所属单位：机械工程学院
卷号：508
ISSN号：0169-4332