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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：英国,赫尔大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理系楼301
电子邮箱：jsun@dlut.edu.cn
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SiH4浓度对混合气体Ar/SiH4/H2放电过程中粒子密度分布的影响
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：126-126
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