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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：英国,赫尔大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理系楼301
电子邮箱：jsun@dlut.edu.cn
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GaAs中杂质扩散机制
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论文类型：期刊论文
发表时间：1997-01-01
发表刊物：大连理工大学学报
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：37
期号：2
页面范围：166
ISSN号：1000-8608
关键字：砷化镓; 杂质/扩散机制
摘要：针对杂质在ＧａＡｓ中扩散机制这一基础研究和技术应用中急需解决的问题，主要介绍了应用广泛的ｎ型杂质Ｓｉ、Ｓｎ，ｐ型杂质Ｂｅ、Ｚｎ、Ｍｇ的几种可能扩散机制以及国际上有关这些杂质研究的进展情况．从目前的研究状况可以得出这样的结论：在ＧａＡｓ中，Ｂｅ、Ｚｎ、Ｍｇ等ｐ型杂质是以置换填隙机制扩散的，Ｓｉ、Ｓｎ等ｎ型杂质是以替位机制扩散的