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Fabrication of SU-8 photoresist micro-nanofluidic chips by thermal imprinting and thermal bonding
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发布时间：2022-06-22
发表时间：2020-01-01
发表刊物：MICROSYSTEM TECHNOLOGIES
卷号：26
期号：3
页面范围：861-866
ISSN号：0946-7076
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