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A novel 2D silicon nano-mold fabricationtechnique by inclined-deposition and Ar etching over 4 inch large area

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发表时间：2022-10-05
发表刊物：Scientific Reports
所属单位：电子信息与电气工程学部
卷号：6
期号：1
页面范围：1892101-1892110

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