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  • 齐莉萍 ( 副教授 ) 赞

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Fabrication of 2D silicon nano-mold by side etch lift-off method

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发表时间：2022-10-02
发表刊物：NANOTECHNOLOGY
卷号：32
期号：28
ISSN号：0957-4484
关键字："2D silicon nano-mold; wet etching; lift-off"

 

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