点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2011-11-01

发表刊物：光谱学与光谱分析

收录刊物：EI、PubMed、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus、SCIE

卷号：31

期号：11

页面范围：2891-2895

ISSN号：1000-0593

关键字：大气压射频辉光放电;玻耳兹曼斜率法;转动温度;振动温度

摘要：实验中在大气压下在射频(13.56 MHz)容性耦合的平板形金属电极的构型中实现了氩/氮射频α模式的辉光放电.首先,采用发射光谱的方法测量了氮分子(C 3Ⅱu)谱线随氮气含量的变化；其次,使用玻耳兹曼斜率法估算了OH谱带(A2∑+→X 2Ⅱ)的转动温度,并得到等离子体温度随输入功率的变化规律.最后,选取氮的第二正带(C 3Ⅱu→B 3Ⅱg)的三组顺序带组对分子的振动温度进行了研究.实验结果表明:随着氮气流量的增加,氮分子谱线强度值先增加后减小,并在氮气流量为80 mL·min-1附近达到极大值；气体温度随着输入功率的增加而增加,当输入功率从30 W增加到210 W时,对应的气体温度从342 K增加到523 K;随着掺入氮气的流量从30 mL·min-1增加到140 mL·min-1时,振动温度保持在1 800K值附近基本上不受影响.