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李寿哲
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专利
常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器
点击次数：
第一作者：
李寿哲
发明设计人：
武启
所属单位：
物理学院
申请号：
CN101835339A
授权号：
CN201010180725.5
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