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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
联系方式：liuyue@dlut.edu.cn
电子邮箱：liuyue@dlut.edu.cn
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束缚鞘层中的三维尘埃晶格的研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2005-09-01
页面范围：2
关键字：等离子体发生器;气相沉积;鞘层;晶格结构;理想的范;材料加工技术;动力学模型;力控制;中性粒子;阻尼作用;
摘要：随着等离子体材料加工技术的发展,人们已经认识到尘埃颗粒的污染已经成为诸如刻蚀、溅射、气相沉积等处理工艺中的主要问题.因此,清除等离子体发生器中的尘埃颗粒已经成为改进低气压等离子体工业加工技术的一个重要课题.而尘埃等离子体中的一种特殊状态——尘埃晶格,它作为经典流体和固体的理想的范例,尘埃等离子体在这方面的研究成为