点击次数：

论文类型：会议论文

发表时间：2017-07-01

页面范围：1

关键字：低气压射频辉光放电;数值模拟;漂移扩散近似

摘要：细长圆管内壁的表面改性有着广泛的应用前景,低气压射频辉光放电产生的等离子体可以用于细长圆管内壁的表面改性。为了提高改性的效率,需要对放电中等离子体物理特性进行系统研究。本工作应用等离子体流体理论,基于漂移扩散近似,对细长圆管中低气压氩气射频辉光放电产生的等离子体建立了模型,采用有限差分法数值求解了所建立的模型,得到了相应的数值解。通过对数值解的分析,研究了中性气体压强、射频峰值电压、针极粗细和圆管内径等参数对等离子体物理特性的影响。