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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
联系方式：liuyue@dlut.edu.cn
电子邮箱：liuyue@dlut.edu.cn
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非平衡磁控溅射二维磁场分布模拟计算
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论文类型：期刊论文
发表时间：2010-05-15
发表刊物：真空科学与技术学报
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：30
期号：3
页面范围：265-269
ISSN号：1672-7126
关键字：磁控溅射;磁场分布;ANSYS;磁感应强度
摘要：磁场结构在磁控溅射技术中起着重要的作用.本文利用ANSYS软件模拟计算磁场的磁感应强度及其分布,并分析、比较不同方案中的磁场分布变化规律.计算结果与实测值吻合,并且显示随着与靶面距离的增加磁感应强度减弱的特征,其中在双靶磁场并顶部磁场只有S极的结构中,磁场中磁感应强度最强.