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复合定向凝固法制备多晶硅铸锭

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2009-07-20

Journal:功能材料

Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:40

Issue:7

Page Number:1146-1150

ISSN No.:1001-9731

Key Words:多晶硅;定向凝固法;提纯

Abstract:采用复合定向凝固法制备多晶硅铸锭,在精炼和定向凝固过程中施加电磁场控制柱状晶生长过程.实验制得平行于铸锭中心轴的柱状晶,直径约为1mm,铸锭表面质量良好.分析表明金属杂质并未在晶界处发生聚集;且沿铸锭轴向分布也有明显改善,增加了铸锭的有效提纯长度.并通过理论计算探讨了晶体生长速度和定向凝固次数对杂质去除效果的影响.

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