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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-11-20

发表刊物：功能材料

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：40

期号：11

页面范围：1822-1824

ISSN号：1001-9731

关键字：冶金级硅 真空感应熔炼 定向凝固 电子束熔炼 metallurgical grade silicon vacuum induction melting directional solidification electron beam melting

摘要：以冶金级硅为原料进行了制备高纯多晶硅锭的研究,自行设计了真空感应熔炼与定向凝固设备、电子束熔炼设备.通过酸洗、真空感应熔炼与第一次定向凝固、电子束熔炼、真空感应熔炼与第二次定向凝固等组合步骤对工业硅进行提纯.利用电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-AES)进行成分分析,实验结果表明,定向凝固有效去除了金属杂质,电子束对蒸汽压高的元素,尤其是磷元素的去除作用明显.Al的浓度降低到了0.4×10~(-6),Fe、Ca、Ti、Mn、Cu、Zn等金属杂质的浓度降到了0.1×10~(-6)以下,P含量降低到1.5×10~(-6).