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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼6005室
联系方式：0411-84707713
电子邮箱：liujs@dlut.edu.cn
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聚合物微纳结构热压机的温度控制策略研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-01-15
发表刊物：微纳电子技术
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：45
期号：1
页面范围：45-50
ISSN号：1671-4776
关键字：热压;温度控制;系统辨识;PID控制器
摘要：设计实现性能良好的温度控制是聚合物微纳热压工艺探索及高质量热压加工的必要条件.对热压机温控系统进行了建模分析;将飞升曲线法和最小二乘法相结合,对系统进行了辨识;针对系统模型参数的不确定性,设计并实现了基于系统辨识整定控制参数的PID(比例-积分-微分)控制器.实验证明,此控制器超调量0.5℃、系统稳态误差±0.2℃,并且有良好的适应性,满足微纳热压工艺要求.