点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2017-09-18

发表刊物：实验技术与管理

卷号：34

期号：9

页面范围：181-184

ISSN号：1002-4956

关键字：光谱椭偏仪;椭偏实验;折射率;膜厚

摘要：椭偏法在材料的光学性质和薄膜厚度检测中发挥着重要的作用,椭偏测量也已纳入很多高校的实验教学内容.针对实验教学中原理展示性不足、与科研实际结合不紧密的问题,对课程形式和内容进行了改变.制作了光谱椭偏仪器件装配和动态测量视频,增加椭偏测量教学中的原理展示性,加强理论贯通性,联系科研实际,增加实验内容,通过对不同类型样品的测量分析讨论,培养学生解决实际问题的能力和创造性思维.