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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼6005室
联系方式：0411-84707713
电子邮箱：liujs@dlut.edu.cn
扫描关注
扫描电镜在聚合物PMMA微纳结构成像中的应用
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论文类型：期刊论文
发表时间：2015-10-28
发表刊物：实验室科学
卷号：18
期号：5
页面范围：60-62
ISSN号：1672-4305
关键字：加速电压;工作距离;扫描速度
摘要：利用扫描电镜观察不导电聚合物材料上的微纳结构时,样品的导电性和扫描电镜的观察参数设置直接影响了图像质量.在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)样品表面溅射导电层后,研究了加速电压、工作距离和扫描速度对图像质量的影响,在高加速电压、小工作距离和适中的扫描速度下,获得了PMMA微纳沟道的清晰图像.