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X-ray analysis of TaN film prepared by ion beam assisted deposition

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发表时间：2022-10-03

发表刊物：Jisuanji Jicheng Zhizao Xitong/Computer Integrated Manufacturing Systems, CIMS

所属单位：物理学院

卷号：4

期号：5

页面范围：405-408

ISSN号：1006-5911

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