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李小松

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大气压射频介质阻挡放电制备二氧化钛光催化薄膜的研究
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  • Indexed by:

    会议论文

  • First Author:

    常大磊

  • Co-author:

    李小松,底兰波,杨晋华,徐勇,朱爱民

  • Date of Publication:

    2011-08-08

  • Document Type:

    A

  • Page Number:

    161-161

  • Key Words:

    PCVD;沉积温度;沉积技术;反应参数;二氧化钛光催化;半导体光催化;真空系统;空气净化;操作过程;胆嗽;

  • Abstract:

    二氧化钛薄膜作为一种重要功能薄膜材料,在半导体光催化、太阳能电池、空气净化等领域有着广泛的应用前景。在现有二氧化钛薄膜的沉积技术中,等离子体化学气相沉积(PCVD)因其具有沉积温度低、反应参数容易控制等优点而被大量采用。但PCVD技术多数都是在低气压下进行,需要昂贵的真空系统以及复杂的操作过程。

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